离子注入机
型号规格：IMX3500
购买日期：2020-11-16
设备分类：工艺实验设备
设备小类：加工工艺实验设备
制造厂商：ULVAC
设备产地：日本
仪器状态：内外部共享
设备原值：1162万
实验地址：东莞市松山湖国际创新创业社区C1栋
服务价格(元/每小时)：2500
- 仪器详情
- 服务评价
检测技术服务
无-无,无-无,无-无
仪器可预约以下服务
样品加工
功能描述
1) 注入电压：10-200kV，控制精度：±1.0%；
2) 剂量设置范围：1E11～1E16 ions/cm2；
3) 最小束流：500nA，稳定性：±10%/5min；
4) 注入角度：默认0、7°；
5) 配备的注入元素种类：Si注入工艺常见元素、H、He、N、O、C、Ar、Si、Mg；
6) 注入均匀性（片内及片间）：≦1.5%；
7) 样品尺寸兼容：6寸及以下均可兼容，包括碎片（碎片需要固定，故做不了整个表面；
技术指标
离子注入技术是一种是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，与常规热扩散掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了器件的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。
上机要求
无
- 全部(0)
- 好评(0)
- 中评(0)
- 差评(0)
